日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡行業(yè)專用儀器儀表

更新日期：2024-05-16

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簡要描述：

日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡 RAMANdrive
RAMANdrive 是一款專用于半導(dǎo)體分析的拉曼顯微鏡，配備 300 毫米晶圓載物臺。
載物臺可以準確平穩(wěn)地移動到晶圓上所需的位置，實現(xiàn)高性能拉曼光譜成像分析。

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產(chǎn)品介紹

日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡 RAMANdrive

RAMANdrive 是一款專用于半導(dǎo)體分析的拉曼顯微鏡，配備 300 毫米晶圓載物臺。
載物臺可以準確平穩(wěn)地移動到晶圓上所需的位置，實現(xiàn)高性能拉曼光譜成像分析。

配備專有的 300mm 晶圓載物臺

配備專用載物臺，可放置300mm的大直徑晶圓。真空吸附機構(gòu)使晶圓保持水平并將其牢固地固定在平臺上。由于載物臺具有較寬的可移動范圍，因此可以在視野中心從晶圓邊緣到邊緣的任何位置進行捕捉和測量。晶圓以外的高樣品可以放置在平臺的凹槽中。

用于快速可靠地捕獲測量目標的載物臺導(dǎo)航

高性能拉曼光譜成像

為了顯著提高拉曼圖像的采集速度，我們開發(fā)了一種的線照明技術(shù)，將激光束拉伸成一條線并照射到樣品上。從樣品上的線形照明區(qū)域同時檢測到 400 個拉曼光譜。此外，通過安裝高精度掃描鏡，實現(xiàn)了激光束掃描成像。規(guī)定分析區(qū)域后，無需移動載物臺，只需幾分鐘即可獲得超過 100,000 像素的高清拉曼圖像。

RAMANdrive 配備高質(zhì)量的共焦光學(xué)器件，在所有 XYZ 方向上擁有的空間分辨率。這種高分辨率還有助于顯著提高 100 nm 或更小的微粒的檢測靈敏度。出色的光譜分辨率和峰值定位精度能夠?qū)?yīng)力和多型進行高度準確的分析。

識別 100 nm 或更小的微小異物

空間分辨率顯著提高了對小于光斑尺寸的顆粒的檢測靈敏度。選配的高品質(zhì)暗場觀察功能可清晰確認100nm以下微小異物的位置，高精度激光束掃描將激光束準確照射到異物中心?？梢垣@得具有高信噪比的拉曼光譜，從而可以高精度地識別污染物。

3D 拉曼成像以可視化應(yīng)力分布

RAMANdrive 配備高性能共焦光學(xué)器件，可對 SiC、GaN 和金剛石等透明樣品進行深度成像。通過斷層拉曼成像獲得的 SiC 晶片中應(yīng)力分布的數(shù)據(jù)表明，研磨劃痕引起的應(yīng)力通過拋光得到了降低。

日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡 RAMANdrive

規(guī)格

主要業(yè)績

空間分辨率（X/Y/Z）	350nm/500nm/1000nm (@532nm, 100x 0.90NA)
光譜測量范圍	100 cm -1 ~ (選項：50 cm -1 ~)
光譜分辨率 (FWHM)	1.2cm -1 (@785nm, 1200g/mm)
光譜像素分辨率	0.4cm -1 /pixel (@785nm, 1200 g/mm)
峰值定位精度	0.1cm -1 (@532nm, 2400g/mm)

主要規(guī)格

激光波長	325nm、355nm、488nm、532nm、671nm、785nm等
激光照射方式	點光源/線光源
光譜儀焦距	550mm
光柵	內(nèi)置 3 張 150、300、600、1200、1800、2400 g/mm
探測器	熱電冷卻 CCD 1340 × 400 像素